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大规模微纳及柔性系统制造

发布日期:2019-04-22

报告人:蒋平 苏州苏大维格光电科技股份有限公司

时间:425日下午200

地点:中心校区离子束楼报告厅

邀请人:王磊 副教授

摘要

半导体微纳加工工艺是实现微米纳米结构的关键手段,以及广泛应用于IC集成电路,MEMS,微光学器件,微流体,计算全息,AR/VR柔性光电子等领域;但是如何实现大面积的微纳制造和产业应用是一个比较难的课题,本报告主要介绍大规模微纳器件和柔性光电子的制造工艺和加工手段,介绍大规模直写光刻如何解决这些问题。

报告人简介

蒋平,东南大学机械制造研究生,在华为公司从事8年的通讯系统研发与销售,历任芯硕半导体产品解决方案副总裁和苏大维格微纳装备事业部解决方案总监,有多年的光刻机微纳制造和加工检测经验。

苏大维格简介

苏州苏大维格科技集团股份有限公司(简称苏大维格)致力于微纳关键技术、柔性智能制造、柔性光电子材料的创新应用,国家高新技术企业。经多年发展,苏大维格成为微纳光电材料、新型显示和纳米印刷领域自主创新的典型企业,涉及微纳光学印材、纳米印刷、3D成像材料、平板显示(大尺寸电容触控屏,超薄导光板)、高端智能微纳装备(纳米压印、微纳直写光刻、3D光场打印等)的研发与产业化,在深交所A股创业板上市(苏大维格300331)。